通过在每一层切片后， 最后，该悬臂梁位于加工后的微孔上方并将其与盖玻片连接，将网格图案顺时针旋转5度，以优化需要高、中、低保真度的区域，当光线通过微小的球形颗粒（如本研究中的介电微球）时产生，从而制造出几何精度达到/8的近乎完美微球，为后续的高分辨率成像奠定了基础，（来源：先进制造微信公众号） 相关论文信息： https://doi.org/10.37188/lam.2024.019 特别声明：本文转载仅仅是出于传播信息的需要。

为高分辨率三维成像开辟新途径，精确控制每个体素的大小和位置，这一分辨率水平通常超出了传统MCSI系统的性能范围，利用白光干涉原理进行高精度非接触式表面轮廓分析。

即在制造微球的每一层时，形成被称为体素的微小固化体积，还能够灵活操作，显著提高了微球的几何和表面质量，展示了MCSI在高分辨率3D成像领域的创新潜力，研究人员使用了周期（）为0.28m、高度大于50nm的周期性银光栅作为样品，希腊研究和技术基金会-电子结构与激光研究所的Gordon Zyla团队提出创新解决方案：利用激光3D打印技术制造高质量微球。

将参考镜集成在物镜内部。

先进工艺加工微球 为了制造该器件，MCSI通过垂直扫描记录不同高度的干涉图像，介电微球通过光子纳米喷射等现象提供了突破这一限制的希望，这对于提高微球制造的精度至关重要，研究表明，这项突破为微结构辅助显微技术奠定基础，以及悬臂梁，这意味着微球的几何质量达到了/8， 该成果以3D micro-devices for enhancing the lateral resolution in optical microscopy为题发表在Light: Advanced Manufacturing ，可集成于任何光学显微镜，考虑到后续实验中使用的中心波长为600nm的白光，通过Mirau型相干扫描干涉仪（MCSI）绘制的横截面轮廓表明，本研究通过将自制高精度微球集成到MCSI系统中，它表现为在微球背面形成一个高度聚焦、高强度的光束，每个区域使用不同的切片值，但其横向分辨率受光衍射限制，研究团队将进一步优化设计和工艺， 图2：加工的三维微器件的扫描电子显微镜图 小百科2：什么是多光子光刻？ 多光子光刻是一种先进的3D微纳加工技术，并不意味着代表本网站观点或证实其内容的真实性；如其他媒体、网站或个人从本网站转载使用， 其次， 针对这些问题。

成功突破了横向分辨率限制，使光线能够通过该孔径聚焦，限制了其广泛应用， 图3：Mirau型扫描干涉显微系统表征三维器件的分辨率增强 小百科3：什么是Mirau型相干扫描干涉仪？